Platine compatible vide LA170 series

XYZmotoriséemultiaxe

- Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Max. Température d'étuvage : 120°C - Disponible en version magnétique Configurable en option : - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Il est utilisé comme un composant puissant pour les systèmes multi-axes ainsi que pour le balayage simultané de plusieurs échantillons. Il permet un positionnement très fin avec des charges élevées dans l'ultravide, même en direction verticale. Domaines d'application Installation de systèmes multi-axes, automatisation de processus, balayage 3D, balayage d'échantillons, positionnement de systèmes d'imagerie, microscopie, analyse d'échantillons, inspection de semi-conducteurs, assurance qualité dans la biotechnologie et la technologie des semi-conducteurs, recherche, ligne de faisceau, accélérateur, synchrotron