Platine compatible vide MT105 series

linéairepiézoà moteur linéaire

- Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Max. Température d'étuvage : 120°C Configurable en option : - Disponible en version magnétique, faiblement magnétique et sans magnétique - Avec jusqu'à 2 moteurs différents pour le déplacement de charges élevées - Différentes variantes de moteurs : Nanomotion, moteur piézo ou moteur linéaire - Combinable avec le système de positionnement XYZ - Combinable avec des tables rotatives (par exemple DT105) pour les applications rotatives - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Flexible et universel pour des conditions environnementales exigeantes La MT105 est une micro platine à usage universel qui impressionne avant tout par sa dynamique et sa vitesse élevées. Elle est conçue pour atteindre d'excellentes précisions de fonctionnement et de positionnement dans des conditions extrêmes, comme le vide poussé, l'ultravide et les applications non magnétiques. En option, la micro platine peut être équipée de deux moteurs pour positionner des charges plus importantes. Domaines d'application Technologie des semi-conducteurs sous ultravide et sous rayonnement ultraviolet extrême, alignement de plaquettes, alignement de caméras, alignement de capteurs, inspection de contacts, alignement de miroirs, sondage, chambres à vide, recherche, instrumentation de lignes de faisceaux, assemblage et inspection de l'électronique, applications de balayage de haute précision, micro-assemblage