Platine de positionnement linéaire KT105
piézoélectrique2 axesà rouleaux croisés

platine de positionnement linéaire
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Caractéristiques

Orientation
linéaire
Type
piézoélectrique
Nombre d'axes
2 axes
Autres caractéristiques
de précision, compacte, aluminium, pour microscopes, industrielle, compatible vide, pour manutention de wafers, à rouleaux croisés
Course

Min: 1 mm
(0,039 in)

Max: 50 mm
(1,969 in)

Vitesse

Min: 1 mm/s

Max: 50 mm/s

Répétabilité

Min: 0,3 µm

Max: 5 µm

Charge

Min: 0,4 kg
(0,88 lb)

Max: 4,5 kg
(9,92 lb)

Description

KT105-50 Platine XY haute résolution Application : étage XY sous vide Avantage : rapidité et haute résolution Caractéristiques : paramètres de lacet et de tangage trois fois supérieurs à ceux de la variante avec apertur - Vide : tous les domaines HV / UHV jusqu'à 10-11 mbar - Magnétisme : magnétique | faiblement magnétique | sans aimant - Lubrification : liquide jusqu'à 10-8 / sèche jusqu'à 10-11 mbar - Température de cuisson max : 120°C Options : - Avec ou sans ouverture - Disponible en version magnétique, faiblement magnétique et sans aimant - Différentes variantes de moteurs : Nanomotion ou moteur piézo - Combinable avec un système de positionnement XYZ (par exemple MT105) - Combinable avec des platines rotatives (par exemple DT105) pour les applications rotatives - En option avec le contrôleur FMC400/450 Données techniques - Course : 50 mm - Répétabilité : - ± 0,3 µm, ± 0,5 µm (unidirectionnel) ± 0,4 µm, ± 0,7 µm (bidirectionnel) - Charge : → 5 N, 4N / ↑ 45 N - Vitesse max. Vitesse : 10/50 mm/s - Moteur : Moteur piézoélectrique / Nanomotion - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides, en option entièrement en céramique - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : 0.001 µm - 0,1 µm

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