Platine de positionnement linéaire MT53piézoélectrique1 axeà rouleaux croisés
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Caractéristiques
- Orientation
- linéaire
- Type
- piézoélectrique
- Nombre d'axes
- 1 axe
- Autres caractéristiques
- de précision, aluminium, miniature, industrielle, compatible vide, pour manutention de wafers, à rouleaux croisés
- Course
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 10 mm
(0,394 in)- Vitesse
Min: 0,2 mm/s
Max: 10 mm/s
- Répétabilité
Min: 0,2 µm
Max: 5 µm
- Charge
Min: 0,5 kg
(1,1 lb)Max: 0,9 kg
(1,98 lb)
Description
MT53
Micro-étage à haute résolution
Application : micro-scène polyvalente
Avantage : pour le balayage à haute résolution
Caractéristiques : positionnement à très haute résolution
- Vide : toutes les plages de pression HV /UHV jusqu'à 10E-11 mbar
- Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8mbar / lubrifiant sec jusqu'à 10E-11mbar
- Magnétisme : magnétique
- Température de cuisson max : 120°C
Options :
- Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application
- Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre
- En option avec le contrôleur FMC400/450
Données techniques :
- Course : 10 mm
- Reproductibilité : -
± 0,2 µm (unidirectionnel)
± 0,3 µm (bidirectionnel)
- Charge : → 5 N / ↑ 8,8 N
- Vitesse max. Vitesse : 0,2 mm/s
- Moteur : Moteur piézo
- Palier : roulements à rouleaux croisés
- Rétroaction : Échelle linéaire
- Résolution de la rétroaction : ± 0,1µm
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