Système de positionnement tripode TRIPOD 92-6DoF
XYsous vide

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Caractéristiques

Nombre d'axes
XY
Type
tripode
Applications
sous vide
Répétabilité

50 nm

Course

6 mm, 31 mm
(0,24 in, 1,22 in)

Description

Le plus grand des deux TRIPOD est compatible avec le système modulaire CLS-92. Une platine à bascule est le composant central de ce système de positionnement. La disposition des trois tourelles permet un mouvement de roulis et de tangage de la plaque supérieure dans une plage de ±13° pour Θx, ±15° pour Θy et une translation linéaire dans la direction Z de 10 mm. La plaque supérieure comprend également une fente permettant de monter une platine de rotation SR-4011 pour ajouter un quatrième degré de liberté à la configuration. La plaque inférieure, au contraire, permet un montage direct sur une planche à pain ou une plateforme XY constituée de deux translations linéaires CLS-92 DeepL. Cette dernière possibilité permet d'obtenir un système de positionnement 5D ou, avec le SR-4011, 6D. Mécanique Course [mm] - 63 (X) ; 63 (Y) ; 10 (Z) Course [ - 26 (Θx) ; 28 (Θy) ; illimitée (Θz) Max. Force normale [N] - 5 Force horizontale max. Force horizontale [N] - 2,5 Dimensions [mm] - 142 x 142 x 94 Hauteur de la plate-forme au-dessus du sol [mm] - 94 Poids [g] - ~ 1850 Boucle fermée Types de capteurs - S Plus petit incrément [nm] - 1 Plus petit incrément [µrad] - 1 Répétabilité en boucle fermée, course complète MCS2 [nm] - < ± 200 Répétabilité en boucle fermée, course de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Répétabilité en boucle fermée, course complète MCS2 [µrad] - < ± 15 Options Options de vide - HV (1E-6 mbar)

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Catalogues

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.