Système de nano-positionnement multi-axe SMARPOD 70.42
hexapodeavec cinématique parallèlesous haut vide

système de nano-positionnement multi-axe
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Caractéristiques

Nombre d'axes
multi-axe
Type
hexapode
Autres caractéristiques
avec cinématique parallèle, sous haut vide
Répétabilité

50 nm

Course

6 mm, 11 mm
(0,24 in, 0,43 in)

Description

Malgré sa petite taille, le SMARPOD 70.42 miniaturisé est capable de manipuler des charges utiles allant jusqu'à 5N. Le SMARPOD 70.42 est le plus petit système de positionnement hexapode de SmarAct, avec un diamètre de plaque de base de seulement 70 mm. Malgré sa compacité, il s'agit d'un système robuste et précis capable de supporter des charges utiles allant jusqu'à 5 N et de les positionner avec une amplitude de déplacement de l'ordre du centimètre en X et en Y. Il est également disponible en version à vide poussé. Il est également disponible dans une version compatible avec le vide poussé et l'ultravide et peut être construit à partir de matériaux entièrement non magnétiques. Mécanique Course [ - 14 (Θx) ; 16 (Θy) ; 28 (Θz) Max. Force normale [N] - 5 Force horizontale max. Force horizontale [N] - 2,5 Dimensions [mm] - Ø 70 Hauteur de la plate-forme au-dessus du sol [mm] - 42 Poids [g] - 300 Boucle fermée Types de capteurs - S ; SC Plus petit incrément [nm] - 1 Plus petit incrément [µrad] - 1 Répétabilité en boucle fermée, course complète MCS2 [nm] - < ± 200 Répétabilité en boucle fermée, course de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Répétabilité en boucle fermée, course complète MCS2 [µrad] - < ± 15 Options Options de vide - HV (1E-6 mbar) ; UHV / UHVT (1E-11 mbar) Option non-magnétique - Oui (-NM)

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Catalogues

Autres produits SmarAct GmbH

Positioning Systems

* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.