·Technologie éprouvée de contrôle et de distribution de la source liquide BBr3 et de la source gazeuse BCL3 ;
·Technologie brevetée ;
·Structure unique de porte de four à double paroi emboîtée ;
·Mécanisme de poussée des barquettes à module intégré, à la fois rapide et stable ;
·Commande automatique intelligente ;
·Logiciel MES doté de droits de propriété intellectuelle indépendants ;
·Système de gestion de production intelligent S.C. adapté.
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