Évaporateur par faisceau d'ions Triple EFM

de process

L'aire d'évaporation distance fonctionnante de 8.5, 11 et 15 millimètres 93 millimètres (10 millimètres) 3 cellules/filaments indépendants jaillissent des moniteurs aucune interférence pendant l'Arrière-chargement composé de croissance des evaporants qu'un produit de FOYER a basé sur le concept de construction des vaporisateurs d'EFM 3, l'EFM triple comporte trois cellules indépendantes pour l'évaporation d'un éventail de matériaux des fils, des tiges ou des creusets. Chaque cellule est équipée d'un filament séparé et de l'approvisionnement de HT pour empêcher l'interférence (300 W chacun). Trois moniteurs indépendants de flux permettent la croissance stoechiométrique commandée des composés. L'obturateur intégral de multi-position permet le dosage précis et l'évaporation simultanée ou consécutive (« ouvrez » les positions : 1, 2, 3, 1+3, 2+3, 1+2+3). Le secteur de dépôt est régi par le choix d'une de trois ouvertures. Les trois cibles d'évaporation sont indépendamment montées sur trois 25 millimètres Z-décale pour l'alignement en ce qui concerne le filament. Ce dispositif permet l'évaporation des tiges avec un instrument de multi-poche. Les matériaux de cible peuvent être facilement remplis de l'arrière (CF de 3x nanowatt 16).