Évaporateur par faisceau d'ions EFM 3

de laboratoire

Aire d'évaporation Ø 5 - 20 millimètres Moniteur de flux Obturateur intégré Arrière-chargement d'evaporant EFM 3 pour VT SPM et pour des paquets de LIEUTENANT SPM Un produit de FOYER L'EFM 3 est conçu pour la croissance de la couche mince et l'épitaxie de faisceau moléculaire. la Secondaire-monocouche et les systèmes multicouche peuvent être produits avec des taux d'évaporation changeant à partir de la monocouche 1/10 par minute à plus de 1000 monocouches par seconde. Le refroidissement par eau assure la basse pression de fond (typiquement dans la gamme 10-10 mbar) pendant l'évaporation - et permet ainsi la croissance des films ultra-purs. Le faisceau evaporant avec précision défini permet le dépôt fortement uniforme sur l'échantillon. Le secteur de dépôt est déterminé par le choix de trois facilement ouvertures échangeables différentes de sortie et la distance à partir de la source à l'échantillon. Une partie du faisceau evaporant est ionisée. Quand ces ions frappent le substrat, ils peuvent créer des défauts dans la surface de substrat et déposer l'énergie. Pour éviter ceci l'EFM 3 peut sur option être équipé d'un filtre d'ion qui repousse les ions de nouveau dans l'EFM.