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Équipement de nettoyage à sec SC-CSZJ9600E-20Fà eaupour wafersde process
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Caractéristiques
- Technologie
- à eau, à sec
- Applications
- de process, pour wafers
Description
Utilisé pour l'enlèvement et le nettoyage des plaquettes de silicium diffusées.
Déroulement du processus
Enlèvement de l'enveloppe→Post-nettoyage→Nettoyage à l'acide→Post-nettoyage→Nettoyage à l'acide→Séchage à l'eau chaude→Séchage (pour référence)
- Débit : 400pcs/batch, 9600pcs/h (210mm wafer),480pcs/batch, 12000pcs/h (182mm wafer).
- Diverses technologies additives sont disponibles.
- Épaisseur de la plaquette jusqu'à 120μm.
- Avec zone de nettoyage à sec et système autonettoyant.
- Changement de bain rapide en ligne.
- Disponible avec MES, système RFID, test de poids en ligne en option.
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.