Chanfreineuse électrique GC-LD804

pour waferspour bordà deux têtes

Présentation du produit
Le GC-LD804 est une machine de chanfreinage conçue pour l'usinage des bords de plaquettes en saphir. Elle est compatible avec des plaquettes de 4, 6 et 8 pouces, prend en charge l'usinage de la face de référence OF et propose en option l'usinage de rainure NOTCH. La machine adopte une configuration à double poste, mesure d'épaisseur par méthode sans contact ou par contact, nettoyage rotatif et séchage centrifuge pour un fonctionnement stable et une précision élevée.

Paramètres du produit
Taille et poids de la machine : 2 250 (L)*1 650 (W)*2 600 (H) mm ; 3 000 kg
Taille des plaquettes : 4/6/8 pouces
Épaisseur des plaquettes : 300 μm~1 500 μm
Poste de travail : Double poste
Forme de la face de référence : OF/Notch (Notch en option)
Taille de l'équipement : 2 250 (W)*1 650 (D)*2 600 (H) mm
Précision axes X/Y/Z : ±1 μm
Précision plan de la ventouse en céramique : ≤3 μm
Précision face d'extrémité et radiale des broches (table de meulage & meule) : ±1 μm
Diamètre extérieur de la meule : Φ202 mm
Diamètre intérieur de montage de la meule : Φ30 mm
Épaisseur de la meule : 20 mm
Vitesse de rotation de la meule : 0-4 000 tr/min (selon demande client)
Vitesse de rotation de la meule Notch : 0-100 000 tr/min (selon demande client)
Types de meule : T, R, TT, RR, TR
Mesure d'épaisseur des plaquettes (sans contact ou par contact) : précision de mesure répétée : ±2 μm ; point de mesure : centre
Méthode de nettoyage : Nettoyage rotatif
Méthode de séchage : Séchage centrifuge
Chargement/déchargement : Nombre de boîtes : 4 ; Nombre d'emplacements : 25 (réglable)

Caractéristiques / Spécifications techniques

• Adaptée au chanfreinage des bords de plaquettes en saphir ; compatible 4", 6" et 8"
• Prise en charge de l'usinage de la face de référence OF ; usinage de rainure Notch en option
• Conception à double poste pour augmenter le débit
• Plage d'épaisseur des plaquettes : 300 μm–1 500 μm ; précision de mesure répétée ±2 μm (point central)
• Précision de positionnement des axes X/Y/Z ±1 μm ; précision du plan des ventouses céramiques ≤3 μm ; précision face d'extrémité et radiale des broches ±1 μm
• Diamètre extérieur de la meule Φ202 mm, diamètre intérieur de montage Φ30 mm, épaisseur 20 mm ; prise en charge de profils multiples (T, R, TT, RR, TR)
• Vitesses de meule et de meule Notch configurables selon les besoins clients (meule 0–4 000 tr/min ; Notch 0–100 000 tr/min)
• Nettoyage rotatif et séchage centrifuge pour la manipulation des plaquettes
• Chargement/déchargement : 4 boîtes ; jusqu'à 25 emplacements (réglable)