Pi1511 Grande unité combinée
Le Pi1511 est une unité de revêtement PVD à haut volume. Elle combine 3 cathodes rotatives PLATIT LARC® XL à l'intérieur de la porte et 2 cathodes Planar ARC à l'arrière de la chambre. La combinaison de cathodes rondes et de cathodes planaires à haute performance permet le dépôt de revêtements PLATIT Signature Coatings avec la flexibilité habituelle. Les cathodes LARC® XL ont une très longue durée de vie et garantissent ainsi une productivité élevée à un faible coût par outil.
Technologies appliquées :
3 x LARC® XL (LAteral Rotating XL Cathode) à l'intérieur de la porte et 2 x cathode planaire avec technologie ARC à l'arrière
MAC-3C (Magnetic ARC Confinement - Coil Current Compensation) pour l'ajustement automatique du champ magnétique
Echange rapide de cathodes
Dépôt des revêtements de signature PLATIT
Technologies de gravure appliquées :
LGD® (Lateral Glow Discharge)
Gravure au plasma avec argon, décharge luminescente
Gravure par ions métalliques (Ti, Cr)
Temps de charge et de cycle :
Volume de revêtement max. : ø 715 x H 805 [mm]
Hauteur maximale du revêtement avec une épaisseur de revêtement définie : 711 mm
Charge maximale : 400 kg
3 lots/jour pour* :
Outils à queue (2 μm) : - ø 10 x 70 [mm], - 1080 pièces, - 7,0 h
Encarts (3 μm) : - - ø/□ 20/14 x 6 [mm], - 7200 pcs., - 7,5 h
Plaques de cuisson (4 μm) : - - ø 80 x 180 [mm], - 48 pièces, - 7,5 h
* Temps de cycle moyen pour un mélange de revêtement typique dans un environnement de production.
Systèmes de carrousels modulaires : 1 à 12 axes
Logiciels :
Utilisation et maintenance simples
SmartSoftware de PLATIT (système PC et PLC)
Système de contrôle moderne avec écran tactile
Statistiques et fonction d'aide via l'interface utilisateur
Enregistrement des données et affichage en temps réel des paramètres et du déroulement du processus
Contrôle manuel et automatique des processus
Diagnostic et maintenance à distance
Les dimensions des machines :
Empreinte : L 4900 x P 2200 x H 2450 [mm]
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