Platine de positionnement Z P-58 series

d'inclinaisonpiézo1 axe

Dynamique élevée avec une grande ouverture - Cinématique parallèle pour des temps de réponse plus rapides et une plus grande précision multi-axe - Système de guidage par flexion sans jeu et de haute précision - Durée de vie exceptionnelle grâce aux actionneurs piézoélectriques PICMA® - Ouverture libre de 66 mm × 66 mm - Linéarité maximale grâce aux capteurs capacitifs - Métrologie - Interférométrie - Photonique / optique intégrée - Lithographie - Nanopositionnement - Microscopie à balayage - Alignement d'échantillons - Micro-usinage Résolution subnanométrique avec les capteurs capacitifs Les capteurs capacitifs mesurent sans contact avec une résolution subnanométrique. Ils garantissent une excellente linéarité de mouvement, une stabilité à long terme et une bande passante de l'ordre du kHz. Configuration automatique et échange rapide de composants Les mécanismes et les contrôleurs peuvent être combinés selon les besoins et échangés rapidement. Tous les paramètres d'asservissement et de linéarisation sont stockés dans la puce d'identification du connecteur D-sub de la mécanique. La fonction d'autocalibration des contrôleurs numériques utilise ces données à chaque fois que le contrôleur est mis sous tension. Une durée de vie exceptionnelle grâce aux actionneurs piézoélectriques PICMA® Les actionneurs piézoélectriques PICMA® brevetés sont isolés entièrement en céramique. Ils sont ainsi protégés contre l'humidité et les défaillances résultant d'une augmentation du courant de fuite. Les actionneurs PICMA® offrent une durée de vie jusqu'à dix fois supérieure à celle des actionneurs conventionnels isolés par un polymère. 100 milliards de cycles sans une seule défaillance sont prouvés.