Machine de traitement de surface par plasma MARCH SPHERE™

pour plaquesautomatiquepour wafers

Aperçu
La série MARCH SPHERE™ regroupe des systèmes de traitement de surface par plasma conçus pour atteindre uniformité, répétabilité et haut débit dans les processus de packaging au niveau de la plaquette (WLP) et au niveau du panneau (PLP). Basés sur une chambre plasma symétrique à trois axes brevetée et un contrôle de procédé avancé, les systèmes SPHERE assurent une activation de surface cohérente, l'élimination des contaminations et une stabilité de procédé pour améliorer le rendement et l'adhérence en aval.

MARCH ExoSPHERE
ExoSPHERE est optimisé pour le traitement au niveau du panneau et les substrats de grande surface. L'architecture de chambre symétrique garantit une activation et un nettoyage uniformes sur de larges zones, réduisant les vides lors du sous-remplissage et améliorant les performances adhésives. La plateforme accepte plusieurs formats de produit et s'intègre aux lignes automatisées ou en production autonome. La gestion du plasma SMARTTune™ permet une mise en service rapide et un fonctionnement stable pour minimiser les arrêts.

• Idéal pour : traitement au niveau du panneau (PLP)
• Applications : préparation du sous-remplissage, activation de surface, élimination de la contamination
• Formats pris en charge : panneaux, supports, bandes, bateaux JEDEC/Auer® et dispositifs analogues

MARCH StratoSPHERE
StratoSPHERE est conçu pour la production au niveau de la plaquette et prend en charge des plaquettes jusqu'à 300 mm. La symétrie de la chambre et le confinement du plasma offrent une grande uniformité et répétabilité sur la plaquette. Le système propose des configurations modulaires, une gestion avancée des plaquettes et une capacité de changement rapide pour un traitement efficace en grand volume.

• Idéal pour : traitement au niveau de la plaquette (WLP)
• Applications : nettoyage de plaquettes, décapage/désencrage de photorésine, préparation de surface, structuration diélectrique
• Taille de plaquette prise en charge : jusqu'à 300 mm (12 pouces)

Capacités clés et avantages

• Chambre plasma symétrique à trois axes brevetée pour uniformité de traitement et répétabilité
• Contrôle de procédé avancé et SMARTTune™ pour une configuration rapide et une exploitation stable
• Automatisation modulaire prête pour la production et intégration flexible aux lignes automatisées
• Temps de cycle courts et haut débit pour améliorer le rendement et réduire la variabilité
• Compatibilité étendue : panneaux, plaquettes, supports, bandes, bateaux JEDEC/Auer®
• Applications : activation de surface, amélioration de l'adhérence, élimination de la contamination, préparation au sous-remplissage, décapage de photorésine, structuration diélectrique

Caractéristiques techniques

• Série : MARCH SPHERE™
• Architecture de la chambre : chambre plasma symétrique à trois axes (brevets)
• Contrôle du plasma : SMARTTune™
• Formats supportés : panneaux, plaquettes, supports, bandes, bateaux JEDEC/Auer®
• Prise en charge plaquette : jusqu'à 300 mm (12 pouces) (StratoSPHERE)
• Configurations : modulaires et évolutives pour production WLP et PLP
• Applications principales : activation de surface, élimination contamination, amélioration adhérence, préparation sous-remplissage, décapage photorésine, structuration diélectrique