Débitmètre massique thermique M330B series

pour gazen lignepour faible débit

La baisse de basse pression, analogue, Métal-a scellé la photo de contrôleur d'écoulement de la masse - la baisse de basse pression de M330 B, analogue, contrôleur Métal-scellé d'écoulement de la masse la baisse de basse pression des instruments M330B de MKS le contrôleur que thermique d'écoulement de la masse est un contrôleur scellé par métal d'écoulement de la masse a conçu spécifiquement pour des applications où la baisse de basse pression à travers le contrôleur est critique. Une application est la livraison commandée des gaz sûrs de Source® de la livraison (SDS®) dans des applications d'implant d'ion pour maximiser l'utilisation du gaz de SDS. La baisse de basse pression de M330 B le contrôleur que thermique d'écoulement de la masse vient dans l'empreinte de pas standard de trois pouces cpc avec electropolished des phoques de finition et en métal de surface de Ra de 5 micropouces assurant la propreté de produit. L'exactitude du dispositif est 1% de complet sur la gamme dynamique de commande. Pour établir la configuration pour convenir à votre application spécifique, consultez le service à la clientèle.