Régulateur de débit massique thermique 1559A

pour azote

Les instruments 1559 de MKS élastomère-ont scellé le contrôleur d'écoulement de la masse est conçus pour des applications d'usage universel de commande d'écoulement de la masse couvrant la gamme de SLM 20 (cfh 42.5) à SLM 200 (cfh 425). La soupape de commande 1559's unique élimine l'oscillation et offre un meilleur temps de réponse par rapport à d'autres contrôleurs d'écoulement. Ce dispositif est possible par l'utilisation d'une conception de valve « de force équilibrée » qui neutralise automatiquement la ligne déséquilibres pression-induits dans la soupape de commande. Du haut l'exactitude contrôleur d'écoulement de la masse de l'écoulement 1559A est ±1% de complet.