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Interféromètre pour mesure d'épaisseur interferoMETER 5420-THoptiqueà lumière blanchehaute résolution
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Caractéristiques
- Applications
- pour mesure d'épaisseur
- Spécifications
- optique, de haute précision, haute résolution, à lumière blanche
Description
L’IMS5420 est un interféromètre à lumière blanche de haute performance pour la mesure de l’épaisseur sans contact de wafers de silicium monocristallin. Le contrôleur dispose d’une diode superluminescente (SLED) à large bande avec une plage de longueur d’onde de 1100 nm. L’épaisseur de wafers de silicium non dopés, dopés et fortement dopés peut ainsi être mesurée avec un seul système de mesure. L’IMS5420 procure une stabilité du signal inférieure à 1 nm. L’épaisseur peut être mesurée à une distance de 24 mm.
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