Machine de polissage de matières plastiques dures CMP-Orbis

de précision

Le système CMP Orbis de Logitech est un outil CMP de précision, posé au sol, qui convient parfaitement aux environnements de recherche et développement. En général, le système CMP Orbis est utilisé dans des applications qui effectuent des tests de production pilote avec des capacités analytiques optimales et des performances de traitement améliorées. Les capacités du système peuvent être adaptées pour inclure : La fabrication de circuits intégrés en amont, Fabrication de systèmes micro-électromécaniques (MEMS), Opto-MEMS La fabrication de bio-MEMS. Solution à faible coût - résultats de grande valeur La possibilité de réaliser des essais de processus pilotes nécessite normalement des systèmes de production coûteux, mais l'Orbis permet d'obtenir cette capacité dans un système économique. Grâce à ses caractéristiques améliorées et à ses fonctionnalités de haute technologie, le système CMP Orbis offre des capacités de traitement supérieures à celles habituellement offertes par un système de cette taille. Utilisation flexible de l'opération Outre sa capacité à reproduire des environnements de production, le système Orbis convient également à une utilisation plus traditionnelle en R&D. Il s'agit de la production de petits lots et de la production pilote. Cela comprend la production de petits lots et les essais de production pilote. Le système est capable de traiter tous les matrices, plaquettes et parties de plaquettes jusqu'à 200 mm (8″) de diamètre en utilisant un support dédié. Comme avec les équipements CMP précédents de Logitech, des gabarits et des cales peuvent être utilisés ou les échantillons peuvent être montés directement sur les porte-échantillons. Caractéristiques principales Idéal pour les environnements de R&D et les tests de processus pilotes Espace de travail de grande capacité pour des échantillons jusqu'à 2 de 200mm (8″) Données téléchargeables pour l'analyse des paramètres de processus Empreinte à l'échelle du laboratoire Conditionnement du tampon standard de l'industrie pour maintenir une durée de vie optimale du tampon