Machine de polissage de matières plastiques dures CMP-Tribo

de plaquesautomatiquesur table

Le système Tribo CMP de Logitech offre des capacités d'enlèvement de matière au niveau nanométrique sur des puces individuelles ou des wafers jusqu'à 100mm/4″ de diamètre. Cette solution CMP est adaptée à une grande variété de matériaux de plaquettes/substrats utilisés dans les processus actuels de fabrication de dispositifs. Le système Tribo CMP atteint les normes industrielles en matière de contrôle et d'enlèvement de couches pour le CMP et produit des surfaces de qualité laser (0/0 scratch dig), en apportant des améliorations à la topographie de surface. Vous pouvez également obtenir des niveaux de Ra inférieurs au nanomètre sur les substrats avec ce système. Ce système très polyvalent peut être adapté grâce à l'utilisation de différentes têtes porteuses, de gabarits de polissage, de modules de banc humide ou de détection du point final. Le Tribo vous permet de collecter de nombreuses variables de données via plusieurs capteurs, afin d'identifier et d'analyser divers facteurs in situ sur les échantillons de matériaux traités. Le logiciel d'analyse en temps réel intégré vous permet de convertir ces données en informations exploitables. Le logiciel peut être facilement exporté vers des logiciels standard tels que Microsoft Excel. Les applications spécifiques pour lesquelles le Tribo peut être utilisé sont les suivantes : CMP de plaquettes de silicium CMP global des semi-conducteurs composés III-V CMP global des couches de nitrure de silicium, d'oxydes et de polymères CMP global de substrats de matériaux IR fragiles et friables CMP global de substrats en saphir, nitrure de gallium et carbure de silicium Récupération de substrats prêts pour l'EPI Amincissement final des plaquettes SOS et SOI à moins de 20 microns Retardement des dispositifs pour la rétro-ingénierie des applications FA Les autres caractéristiques et avantages de ce système sont les suivants Conditionnement du diamant en cours de processus Traitement des matériaux durs et mous Large gamme de tailles de plaquettes prise en charge