Profilomètre optique Zeta™-20

3Davec interférométrie en lumière blanchepour semi-conducteur

Le profileur optique de table Zeta-20 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot™ et l'optique Multi-Mode, permettant la mesure d'une variété d'échantillons : transparents et opaques, de faible à forte réflectance, de texture lisse à rugueuse, et de hauteurs de pas allant du nanomètre au millimètre. Le Zeta-20 intègre six technologies de métrologie optique différentes en un seul système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot™ recueille simultanément un balayage 3D haute résolution et une image True Color à focalisation infinie. Les autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste interférentiel Nomarski et l'interférométrie de cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée à l'aide du ZDot ou d'un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-20 est également un microscope haut de gamme qui peut être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-20 s'adapte aux environnements de R&D et de production en fournissant des mesures complètes de hauteur de marche, de rugosité et d'épaisseur de film, ainsi qu'une capacité d'inspection des défauts. Caractéristiques Profileur optique facile à utiliser avec des optiques ZDot et Multi-Mode pour répondre à une large gamme d'applications Applications Hauteur de marche : Hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres Texture : rugosité et ondulation en 3D sur des surfaces lisses à très rugueuses Forme : arc et forme en 3D Contrainte : contrainte des films minces en 2D Épaisseur du film : épaisseur du film transparent de 30 nm à 100 µm Inspection des défauts : capture des défauts supérieurs à 1µm Examen des défauts : Les fichiers KLARF sont utilisés pour naviguer vers les défauts afin de mesurer la topographie de surface en 3D ou de tracer l'emplacement des défauts