Platine XY XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUTrotativeà servomoteur linéairepour manutention de wafers
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Caractéristiques
- Orientation
- XY, rotatif
- Type
- à servomoteur linéaire
- Autres caractéristiques
- pour manutention de wafers
- Course
10 mm
(0,394 in)- Vitesse
200 mm/s
Description
Les platines XY-Rotary avec moteurs linéaires et moteurs à couple direct conçus avec un profil bas pour la manipulation de plaquettes et de nombreuses autres applications de positionnement précis automatisé dans les industries de fabrication de semi-conducteurs. L'entraînement par moteur linéaire XY permet un positionnement XY inférieur au micron et la platine rotative à entraînement direct assure des performances inférieures à celles de l'arc
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