Platine XY XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUT
rotativeà servomoteur linéairepour manutention de wafers

platine XY
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Caractéristiques

Orientation
XY, rotatif
Type
à servomoteur linéaire
Autres caractéristiques
pour manutention de wafers
Course

10 mm
(0,394 in)

Vitesse

200 mm/s

Description

Les platines XY-Rotary avec moteurs linéaires et moteurs à couple direct conçus avec un profil bas pour la manipulation de plaquettes et de nombreuses autres applications de positionnement précis automatisé dans les industries de fabrication de semi-conducteurs. L'entraînement par moteur linéaire XY permet un positionnement XY inférieur au micron et la platine rotative à entraînement direct assure des performances inférieures à celles de l'arc

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.