Équipement de surveillance des gaz IR-400

équipement de surveillance des gaz
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Description

Moniteur de gaz de haute qualité pour le nettoyage des chambres et la surveillance des points finaux L'IR-400 permet de surveiller en temps réel le point final du nettoyage de la chambre pendant le processus de dépôt. En optimisant le processus de nettoyage, l'IR-400 réduit le temps de nettoyage et la consommation de gaz. Cette réduction de l'utilisation de gaz de nettoyage entraîne une réduction des dommages à la chambre et augmente la durée de vie de tous les composants du système. Surveillance multigaz (SiF4 etCF4 pris en charge) (IR-422) Haute sensibilité Fonction de chauffage de la cellule de gaz jusqu'à 180°C Multi-affichage Communication analogique/numérique. Avantages de la surveillance en temps réel du point final avec l'IR-400 Réduction du temps de nettoyage des chambres Réduction de l'utilisation des gaz de nettoyage Processus de nettoyage répétable et prévisible Durée de vie plus longue des composants de la chambre

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ACHEMA 2024
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10-14 juin 2024 Frankfurt am Main (Allemagne)

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    * Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.