Moniteur de gaz de haute qualité pour le nettoyage des chambres et la surveillance des points finaux
L'IR-400 permet de surveiller en temps réel le point final du nettoyage de la chambre pendant le processus de dépôt. En optimisant le processus de nettoyage, l'IR-400 réduit le temps de nettoyage et la consommation de gaz. Cette réduction de l'utilisation de gaz de nettoyage entraîne une réduction des dommages à la chambre et augmente la durée de vie de tous les composants du système.
Surveillance multigaz (SiF4 etCF4 pris en charge) (IR-422)
Haute sensibilité
Fonction de chauffage de la cellule de gaz jusqu'à 180°C
Multi-affichage
Communication analogique/numérique.
Avantages de la surveillance en temps réel du point final avec l'IR-400
Réduction du temps de nettoyage des chambres
Réduction de l'utilisation des gaz de nettoyage
Processus de nettoyage répétable et prévisible
Durée de vie plus longue des composants de la chambre
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