Système de distribution LU-4000

Série automatique du système FDM de la recharge POCl3 La récompense de HORIBA le système de livraison que liquide de gain (série de FDM) a révolutionné le procédé de diffusion POCl3 en développant un système pour fournir automatiquement le volume POCl3 liquide dans 20 litres ETFE a rayé des boîtes métalliques d'acier inoxydable aux navires en plastique fixes multiples de barboteur. Les séries de FDM et de VM sont employées pour des couches de type n de diffusion comme dopant en pile solaire basée sur silicium en cristal de fabrication. Le système peut également être employé dans le procédé de diffusion BBr3, améliorant la stabilité de processus, augmentation à temps de bon fonctionnement, réduisant la logistique et la sécurité de coût de la main-d'oeuvre et plus élevée. Segment : Semi-conducteur Division : Système de contrôle liquide Entreprise manufacturière : HORIBA STEC Co. Ltd.