Spectroscope EV-140C

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Description

Ce moniteur de point final de type analyse d'émission est destiné à la détection de point final ou au contrôle de l'état du plasma dans le processus de fabrication de couches minces semi-conductrices à base de plasma. Le nouvel algorithme Rapture Intensity permet une détection précise du point final en capturant les faibles variations du signal. La capacité de capturer des changements subtils dans l'émission a considérablement amélioré la sensibilité. L'immunité au bruit améliorée garantit un fonctionnement très stable dans les environnements hostiles des lignes de fabrication fonctionnant 24 heures sur 24. Caractéristiques Réseau lumineux avec un rapport d'ouverture de F/2 L'utilisation d'un grand réseau concave à correction d'aberration de 70 mm de diamètre fabriqué par HORIBA Jobin Yvon permet d'obtenir un système optique brillant. La capacité de collecte de la lumière du réseau concave lui-même permet la construction d'un système optique simple qui est plus lumineux que les spectroscopes Czerny-Turner et qui peut minimiser la perte de réflexion causée par les miroirs et autres surfaces réfléchissantes. Capteur CCD linéaire rétro-éclairé offrant une grande sensibilité et une haute résolution de 2 048 canaux Un CCD rétro-éclairé permet d'obtenir une efficacité quantique élevée, garantissant une spectroscopie stable dans le large spectre des régions UV à visible. La mesure très sensible possible dans la région UV, en particulier, permet une détection de point final dans la gamme de longueurs d'onde qui est moins affectée par les interférences.

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ru1000
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ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 juin 2024 Frankfurt am Main (Allemagne)

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    * Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.