Sonde ionique focalisée MR8000

Ce système de réparation des défauts des masques photographiques FPD utilise la technologie du faisceau d'ions focalisés (FIB) et prend en charge les masques photographiques à grande échelle. Un mécanisme de rotation à l'intérieur de la chambre minimise la zone d'installation. Prend en charge les masques d'écrans plats de grande taille Peut prendre en charge de grands masques photographiques d'une taille maximale de 1400×1600 mm. Peut déposer un film à forte adhérence Peut former un film avec une force d'adhérence comparable au film Cr sur le masque en utilisant un gaz spécial. Possibilité de réparer les masques en tons gris La fonction de dépôt de carbone par FIB permet de réparer les défauts clairs dans les masques en tons gris qui utilisent des films en demi-teinte. Taille des masques - Max : 1400×1600 mm Min : 6 pouces Épaisseur maximale : 15 mm Épaisseur minimale : 5 mm Précision de réparation - 50 nm@3σ Méthode de réparation des défauts clairs - Dépôt de carbone par FIB Méthode de réparation des défauts opaques - Gravure assistée par gaz