Équipement de surveillance des gaz pour inspection des semi-conducteurs D-ReX PoS²

à usage industrielpour la surveillance de processpour détection

Overview
Le D-ReX PoS² est un système compact de détection de gaz conçu pour les environnements de production de semi‑conducteurs. Il intègre une pompe interne qui prélève l'échantillon au point de prélèvement (PoS) sur des distances allant jusqu'à ~30 m et peut être monté en mural ou sur rail DIN. Les options de connectivité incluent Power over Ethernet (PoE), 4–20 mA et Modbus (RS-485).

USPs

• Maintenance sans outil : la façade s'ouvre sans outils pour un accès rapide à la cartouche capteur et au mécanisme de pompe.
• Prélèvement à distance : pompe intégrée avec capacité de ligne d'échantillonnage pour les espaces restreints et points d'échantillonnage distribués.
• Intégration flexible : PoE, 4–20 mA et Modbus (RS-485) pour une connexion simple aux systèmes de contrôle supérieurs.

Features

• Surveillance d'intégrité de ligne en option
• Grand écran couleur 2,4" TFT pour l'identification du gaz, la concentration et l'état de l'appareil
• Trois relais internes à contact à inversion unipolaire, librement programmables
• Communication : Ethernet (PoE), 4–20 mA, Modbus (RS-485)

Designed for semiconductor fabs
Le dispositif prend en charge le prélèvement depuis des pipelines, systèmes de distribution de gaz, zones de stockage, laveurs et salles blanches. Pour les gaz nécessitant une pyrolyse, le module Py‑ReX en option est disponible. Les cartouches capteurs sont préréglées et remplaçables ; la cassette capteur et l'électronique de pompe sont réutilisées lors du remplacement des pièces d'usure.

Information & operation
Le grand écran 2,4" affiche l'identité du gaz, la concentration mesurée, l'état de l'appareil et les défauts en texte clair. Trois relais internes peuvent être programmés pour déclencher des alarmes externes ou des actions de sécurité. L'exploitation en réseau est prise en charge via LAN PoE (10/100 Mbit/s) et Modbus (RS-485) ; la sortie analogique est fournie via 4–20 mA.

Detectable semiconductor process gases (typical)
Ammoniac (NH3), Chlorure d'hydrogène (HCl), Fluorure d'hydrogène (HF), Hydrogène (H2), Silane (SiH4), Dichlorosilane (DCS), Arsine (AsH3), Phosphine (PH3), Diborane (B2H6), Séléniure d'hydrogène (H2Se), Germane (GeH4), Trifluorure de chlore (ClF3), Fluor (F2), Ozone (O3), Bromure d'hydrogène (HBr), Cyanure d'hydrogène (HCN), Hexaméthyldisilazane (HMDS), Tetraéthylorthosilicate (TEOS).

Technical specifications

• Model: D-ReX PoS²
• Sampling : pompe intégrée avec possibilité de ligne d'échantillonnage (jusqu'à ~30 m)
• Installation : montage mural ou rail DIN
• Maintenance : accès frontal sans outil ; remplacement sans outil de la cartouche capteur et du mécanisme de pompe
• Capteurs pris en charge : électrochimiques, catalytiques, infrarouges, PID (cartouches capteur préconfigurées)
• Affichage : 2,4" couleur (TFT)
• Relais : trois relais internes programmables (contact à inversion unipolaire)
• Sortie analogique : 4–20 mA
• Communication numérique : Modbus (RS-485)
• Réseau / Alimentation : Power over Ethernet (PoE), Ethernet 10/100 Mbit/s
• Options : module Py‑ReX pyrolyseur ; surveillance d'intégrité de ligne en option