Système de conditionnement d'échantillon de gaz Py-ReX

Présentation
Le module pyrolyseur à filament Py-ReX est un complément pour le détecteur de gaz D-ReX PoS permettant la détection par prélèvement de gaz trop toxiques ou électrochimiquement inactifs pour une mesure directe. Le module utilise la pompe intégrée du D-ReX PoS pour aspirer l'échantillon à travers un filament chauffé contenu dans un tube en quartz, convertissant le gaz cible en une espèce mesurable par le capteur électrochimique.

Détection de gaz à l'aide d'un pyrolyseur
Le Py-ReX se monte entre le point d'échantillonnage et le détecteur de gaz. La pompe du D-ReX PoS aspire l'échantillon qui traverse le pyrolyseur ; après pyrolyse, le gaz converti est transmis au capteur D-ReX pour analyse. Cette configuration étend la plage de gaz détectables du D-ReX PoS pour la surveillance des procédés et la sécurité.

Comment fonctionne la pyrolyse ?
Un filament placé dans un tube en quartz est chauffé à une température spécifique au gaz. Au contact du filament chauffé, le gaz cible se décompose en une espèce différente que le détecteur peut mesurer. La concentration de l'espèce mesurée est utilisée pour calculer la concentration du gaz cible selon les paramètres d'étalonnage.

Gaz détectables
Le Py-ReX est optimisé pour les gaz d'inertage à base de fluor utilisés en fabrication de semi-conducteurs et dans des procédés industriels connexes. Il peut aussi détecter certains gaz inertes non fluorés (exemple : 1,2-dichloroéthène). Les espèces mesurées typiques incluent les produits de conversion de C2H2Cl2, C4F6, C5F8, CH3F, NF3 et SF6.

En bref : équipement et caractéristiques

• Méthode de pyrolyse : pyrolyse à filament (filament dans tube en quartz)
• Fonctionnement : prélèvement extractif utilisant la pompe intégrée du D-ReX PoS
• Communication : sortie 4-20 mA
• Indication d'état : 2 LED colorées
• Montage : boîtier pour rail DIN (TS35)
• Longueur maximale de la ligne d'échantillonnage : jusqu'à 30 m
• Surveillance du courant de chauffage disponible sur D-ReX PoS
• Option : surveillance d'intégrité de ligne via D-ReX PoS

Gaz mesurés (exemples)
C2H2Cl2 — 1,2-dichloroéthène (DCE); C4F6 — hexafluorobutadiène; C5F8 — octafluorcyclopentène; CH3F — fluorure de méthyle; NF3 — trifluorure d'azote; SF6 — hexafluorure de soufre

Caractéristiques techniques

• Conçu comme module additionnel pour D-ReX PoS utilisant la pompe intégrée pour prélèvement extractif
• Pyrolyseur à filament : filament chauffé dans un tube en quartz avec contrôle de température spécifique au gaz
• Monté entre le point d'échantillonnage et le détecteur
• Conversion du gaz cible en gaz mesurable ; la concentration mesurée permet de calculer la concentration du gaz cible
• Sortie de communication : 4-20 mA
• Indicateurs visuels : 2 LED d'état colorées
• Boîtier : rail DIN (TS35)
• Longueur maximale de la ligne : jusqu'à 30 m
• Surveillance du courant de chauffage implémentée sur D-ReX PoS
• Option de surveillance de l'intégrité de la ligne disponible sur D-ReX PoS
• Applications : principalement gaz d'inertage à base de fluor pour la fabrication de semi-conducteurs ; certains gaz non fluorés inertes