Capteur de gaz NDIR Gasboard-2060

à infrarougespour mesure des procédéspour moniteur de purification de gaz à semi-conducteurs

Présentation du produit
Le Gasboard-2060 est un capteur de gaz SiF4 basé sur la technologie NDIR, conçu pour la détection en temps réel du point final (EPD) lors du nettoyage des chambres CVD de semi‑conducteurs. Il intègre une cellule gazeuse et des optiques spécifiques permettant une mesure sélective de la concentration de SiF4 pour le contrôle du nettoyage des chambres. Le Gasboard-2060 transmet les niveaux de SiF4 avec une réponse rapide et s’intègre aux systèmes de contrôle via des interfaces analogiques et numériques.

Caractéristiques

• Détection NDIR optimisée pour le SiF4.
• Réponse rapide (T90＜2s) pour déterminer précisément le point final du nettoyage.
• Sortie stable avec faible dérive zéro et haute répétabilité.
• Conception modulaire compacte pour une installation et une maintenance simplifiées.
• Sorties analogique (1–10VDC) et numérique (RS232); prise d’échantillonnage KF16.

Spécifications
Gaz mesuré : SiF4
Principe de détection : NDIR (infrarouge non dispersif)
Plage : (0.0–0.2) Absorbance
Temps de réponse : T90＜2s
Fréquence de rapport : 0.5s
Sortie analogique : 1–10VDC
Alimentation : 15VDC (≤300mA) ou 24VDC
Communication numérique : RS232
Prise d’échantillonnage : KF16
Dimensions : 200 × 120 × 75,5 mm
Taux de fuite : ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Température de fonctionnement : 5～65 ℃

Caractéristiques techniques

• Gaz mesuré : SiF4
• Principe de détection : NDIR
• Plage : (0.0–0.2) Absorbance
• Temps de réponse : T90＜2s
• Fréquence de rapport : 0.5s
• Sortie analogique : 1–10VDC
• Alimentation : 15VDC (≤300mA) ou 24VDC
• Communication numérique : RS232
• Prise d’échantillonnage : KF16
• Dimensions : 200×120×75,5 mm
• Taux de fuite : ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Température de fonctionnement : 5～65 ℃