Capteur de gaz NDIR Gasboard-2061

pour mesure des procédéspour moniteur de purification de gaz à semi-conducteurspour contrôle de process

Présentation
Le Gasboard-2061 est un capteur de gaz NDIR conçu pour la mesure en temps réel de la concentration de WF6 et la détection de fin de nettoyage (EPD) dans les chambres de dépôt CVD au tungstène (WCVD). Il fournit des mesures sensibles et répétables en environnement sous vide et en conditions de procédé pour permettre une indication précise de l'endpoint et réduire la consommation de gaz de nettoyage.

Conception et intégration
Compact et modulaire, le Gasboard-2061 est prévu pour une installation aisée sur lignes de procédé sous vide. Sa construction en 316L et son chemin optique scellé le rendent compatible avec des gaz de procédé corrosifs. Il supporte des interfaces analogiques et numériques ainsi que la communication RS485 pour la calibration, l'enregistrement des données et l'intégration au système de contrôle.

Caractéristiques

• Technologie NDIR optimisée pour la mesure de WF6.
• Temps de réponse rapide pour le suivi en temps réel des variations de concentration.
• Faible dérive zéro et grande répétabilité pour des mesures cohérentes.
• Conception scellée adaptée aux environnements sous vide.
• Construction en 316L résistante à la corrosion pour compatibilité avec des conditions de procédé agressives.
• Sorties analogiques (0–5 V ou 4–20 mA), entrée analogique et E/S numériques pour une intégration flexible.

Spécifications (tableau)
Gaz mesuré : WF6
Plage : 0–200 mTorr
Répétabilité : ±0,5%
Précision : ±1% F.S.
Tension d'alimentation : 24 VDC
Courant de fonctionnement : 1,5 A (max)
Sortie analogique : 0–5 VDC (4 ch) ou 4–20 mA (4 ch)
Entrée analogique : 0–10 VDC (1 ch)
Sorties numériques : 4 ch
Entrée numérique : 1 ch
Communication : RS485
Orifice d'échantillonnage : NW25
Taux de fuite : ≤1 x 10-6 Pa·m3/s (He)
Température ambiante de fonctionnement : 20–35 ℃

Remarques sur les conditions de mesure
1. Les données sont mesurées sous pression atmosphérique standard.
2. Les gaz d'étalonnage sont fournis par des instituts de métrologie accrédités ; les gaz sont dilués dans de l'azote sec (pureté ≥99,999%).
3. Les performances indiquées sont déterminées après étalonnage ; chaque capteur est calibré à 100 % en production.
4. Les mesures sont effectuées à 25 °C de température ambiante.

Spécifications techniques

• Modèle : Gasboard-2061
• Gaz mesuré : WF6
• Plage : 0–200 mTorr
• Répétabilité : ±0,5%
• Précision : ±1% F.S.
• Alimentation : 24 VDC
• Courant max : 1,5 A
• Sorties analogiques : 0–5 VDC (4 ch) ou 4–20 mA (4 ch)
• Entrée analogique : 0–10 VDC (1 ch)
• Sorties numériques : 4 ch ; Entrée numérique : 1 ch
• Interface de communication : RS485
• Orifice d'échantillonnage : NW25
• Taux de fuite (He) : ≤1 x 10-6 Pa·m3/s
• Température ambiante de fonctionnement : 20–35 ℃
• Construction : matériaux résistants à la corrosion 316L ; conception scellée adaptée aux environnements sous vide