Capteur de gaz NDIR Gasboard-2061

pour mesure des procédéspour moniteur de purification de gaz à semi-conducteursnumérique

Présentation du produit
Le Gasboard-2061 est un capteur de gaz NDIR WF6 destiné à la détection en temps réel de la fin de nettoyage dans les chambres de dépôt CVD au tungstène (WCVD). Il mesure la concentration de WF6 avec sensibilité et stabilité dans des conditions de procédé, permettant d'indiquer précisément la fin de nettoyage afin de réduire la durée de nettoyage, limiter la consommation de gaz et minimiser l'usure de la chambre.

Le Gasboard-2061 présente une architecture modulaire et compacte pour une installation aisée. L'appareil prend en charge des interfaces analogiques et numériques et permet la calibration et les réglages pour une intégration simple aux systèmes de contrôle.

Caractéristiques

• Mesure NDIR optimisée pour la surveillance de WF6.
• Réponse rapide pour le suivi en temps réel des variations de concentration.
• Faible dérive zéro et haute répétabilité pour des mesures constantes.
• Conception étanche adaptée à une utilisation sous vide.
• Construction en 316L résistante aux environnements de procédé corrosifs.
• E/S analogiques et numériques pour intégration et maintenance.

Spécifications
Composant mesuré : WF6
Plage : 0–200 mTorr
Répétabilité : ±0,5 %
Précision : ±1 % F.S.
Tension d'alimentation : 24 VDC
Courant de fonctionnement : 1,5 A (max)
Sortie analogique : 0–5 VDC (4 canaux) ou 4–20 mA (4 canaux)
Entrée analogique : 0–10 VDC (1 canal)
Sortie numérique : 4 canaux; Entrée numérique : 1 canal
Communication : RS485
Prise d'échantillonnage : NW25
Taux de fuite : ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
Température ambiante de fonctionnement : 20–35 ℃

Remarques

• Toutes les données sont mesurées à la pression atmosphérique standard.
• Les gaz d'étalonnage sont fournis par des organismes certifiés par les autorités nationales de métrologie ; les gaz sont dilués dans de l'azote sec avec une pureté de 99,999 %.
• Les performances indiquées sont celles après étalonnage ; chaque capteur est étalonné à 100 % en production.
• Les mesures sont réalisées à 25 ℃ sauf indication contraire.

Caractéristiques techniques

• Composant mesuré : WF6
• Plage : 0–200 mTorr
• Répétabilité : ±0,5 %
• Précision : ±1 % F.S.
• Tension d'alimentation : 24 VDC
• Courant de fonctionnement : 1,5 A (max)
• Sortie analogique : 0–5 VDC (4 canaux) ou 4–20 mA (4 canaux)
• Entrée analogique : 0–10 VDC (1 canal)
• Sortie numérique : 4 canaux; Entrée numérique : 1 canal
• Communication : RS485
• Prise d'échantillonnage : NW25
• Taux de fuite : ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
• Température ambiante de fonctionnement : 20–35 ℃