Capteur de gaz NDIR Gasboard-2060

pour moniteur de purification de gaz à semi-conducteursanalogiquesortie de tension

Présentation
Le Gasboard-2060 est un capteur de gaz SiF4 haute performance conçu pour la détection en temps réel du point de terminaison de nettoyage (EPD) des chambres de dépôt CVD à base de silicium. Basé sur la technologie infrarouge non dispersive (NDIR) avec une chambre à gaz spécialement étudiée, il offre une mesure très sélective et précise de la concentration de SiF4 lors des opérations de nettoyage de chambre. Le Gasboard-2060 surveille la concentration de SiF4 en continu, permettant une indication rapide et précise du point de terminaison de nettoyage afin de réduire le temps de nettoyage et la consommation de gaz tout en limitant l'usure de la chambre et en prolongeant la durée de vie des composants. Sa conception modulaire facilite l'installation et il prend en charge les fonctions d'étalonnage et d'ajustement pour une intégration et une maintenance aisées.

Caractéristiques

• Technologie NDIR pour une mesure sensible et précise du SiF4.
• Réponse rapide pour une détermination précise du point de terminaison de nettoyage de la chambre de dépôt.
• Faible dérive zéro et grande répétabilité pour des performances de mesure constantes.
• Conception modulaire pour une intégration et une installation système facilitées.
• Sorties de communication analogiques et numériques pour une interface flexible.

Spécifications
Mesure : SiF4
Principe de détection : NDIR
Plage : (0.0-0.2) Absorbance
Temps de réponse : T90＜2s
Fréquence de rapport de données : 0.5s
Sortie analogique : 1-10VDC
Alimentation : 15VDC (≤300mA), 24VDC
Communication numérique : RS232
Prise d'échantillonnage : KF16
Dimensions : 200×120×75.5mm
Taux de fuite : ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Température de fonctionnement : (5～65) ℃

Caractéristiques techniques

• Mesure : SiF4
• Principe de détection : NDIR
• Plage : (0.0-0.2) Absorbance
• Temps de réponse : T90＜2s
• Fréquence de rapport de données : 0.5s
• Sortie analogique : 1-10VDC
• Alimentation : 15VDC (≤300mA), 24VDC
• Communication numérique : RS232
• Prise d'échantillonnage : KF16
• Dimensions : 200×120×75.5mm
• Taux de fuite : ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Température de fonctionnement : (5～65) ℃