Machine de dépôt CVD C30Sde couches mincesde parylène
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Caractéristiques
- Méthode
- CVD
- Type de dépôt
- de couches minces, de parylène
Description
Idéal pour les essais en laboratoire et la production industrielle de petites pièces
Equipement polyvalent avec possibilité d'évolution vers une configuration multicouche
Parfaitement adapté pour :
Les composants de petite et moyenne taille (par exemple, dans l'électronique, les applications médicales, etc.)
Plaquettes jusqu'à ø 200 mm (8 pouces)
Dimensions totales (L x l x H) - 2100 x 1370 x 2000mm
Poids - 350 kg
Taille de la chambre - ∅ 295 x 370 mm
Taille de l'outillage - ∅ 260 x 320 mm
Charge maximale de l'outillage - 100kg
Capacité de charge du dimer - 150g
Capacité de pompage - 40 m3/h
Alimentation électrique requise - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz
3 x 25A - 15kW
Parylène transformable - Type : C, D, N, F-VT4, F-AF4
Chambre thermalisée - gamme de température - 20 - 30°C
Options - Compatible avec toutes les options
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.