Machine de dépôt par pulvérisation cathodique de métallisation FLC

pour applications automobiles

Vue d'ensemble
La série LEYBOLD OPTICS FLC regroupe des systèmes de dépôt par pulvérisation cathodique en mode roll-to-roll sous haut vide, conçus pour la R&D et la production. Modulable et configurable avec jusqu'à six cathodes rotatives et sections de procédé séparables, la série permet le dépôt en un seul passage de piles de couches métalliques et diélectriques et existe en largeurs 650 mm, 1600 mm et 2000 mm.

Avantages clés

• Dépôt multi-couches en un seul passage grâce à une séparation de gaz optionnelle entre sections de traitement, permettant des empilements métal/diélectrique sans étapes intermédiaires.
• Configuration flexible : jusqu'à six cathodes rotatives, options d'alimentation multiples, mesures in situ, prétraitement plasma et systèmes de bobinage configurables pour de nombreux substrats et procédés.
• Changement rapide d'application par remplacement des cibles et des recettes avec des modifications matérielles minimales, adapté à la R&D et aux essais de production.

Caractéristiques principales

• Polyvalence : prises en charge DC, DC pulsé unipolaire, DC pulsé bipolaire et MF pour procédés réactifs ou non réactifs.
• Contrôle des particules et stabilité : orientation sputter-up des cathodes, pompes turbomoléculaires, pièges froids et tambour de dépôt à température contrôlée (standard -15 à +80 °C).
• Maintenance : accès aux composants clés facilité pour nettoyage et interventions de maintenance.

Substrats et matériaux compatibles

• Substrats : PET, PEN, PI, aluminium, acier inoxydable, cuivre, verre flexible ; diamètre de rouleau substrat jusqu'à 500 mm.
• Matériaux de dépôt : métaux (Ag, Al, Cu, Cr, NiCr, Ti) et diélectriques/oxydes (AZO, ITO, SiO2, SiN, SnO2, Nb2O5, TiO2).

Applications

• Revêtements conducteurs transparents ITO pour écrans et surfaces tactiles.
• Cartes flexibles imprimées (FPCB) et métallisation de films pour condensateurs à rouleau.
• Verre à faible émissivité (low-e) et verre intelligent, films électrochromiques pour vitrages architecturaux et automobiles.
• Revêtements fonctionnels pour améliorer les performances de batteries lithium‑ion et d'autres matériaux électroniques avancés.

Autres caractéristiques / Spécifications techniques

• Série : LEYBOLD OPTICS FLC series
• Tailles / largeurs de dépôt : 650 mm, 1600 mm, 2000 mm
• Largeur typique (ex. FLC 650) : jusqu'à 650 mm
• Diamètre max. rouleau substrat : jusqu'à 500 mm
• Plage de température tambour : standard -15 °C à +80 °C
• Cathodes : jusqu'à six cathodes rotatives, orientation sputter-up
• Alimentations prises en charge : DC, DC pulsé unipolaire, DC pulsé bipolaire, MF
• Équipements de vide : pompes turbomoléculaires et pièges froids
• Options procédé : séparation de gaz entre sections, prétraitement plasma, mesures de couche in situ, contrôle de procédé en boucle fermée, système de bobinage configurable