Machine d'évaporation sous vide antireflet SYRUSpro series

réflecteur

Présentation
La série SYRUSpro est une installation de dépôt sous vide pour optique de précision signée Bühler Leybold Optics, conçue pour la production en volume de filtres optiques 24/7 sur les plages spectrales DUV, VIS et IR. Elle propose des solutions configurables pour des spécifications de dépôt exigeantes et une production à haut débit.

Principaux avantages

• Conçue pour les applications exigeantes : Répond aux spécifications strictes pour l'IR, le DUV et les régimes de longueurs d'onde extrêmes.
• Adaptée à votre procédé : Large choix de composants de qualité permettant une configuration précise selon les besoins du procédé.
• Flexibilité maximale : Huit options de taille de chambre pour s'adapter aux capacités de chargement et aux dimensions des substrats.

Caractéristiques principales

• Options de chambre : Huit tailles avec diamètres intérieurs de 710 mm à 2800 mm pour correspondre aux capacités de chargement et aux dimensions des substrats.
• Choix de revêtements : Prend en charge filtres de bord (short/long pass), filtres coupe UV/IR, notch et filtres passe-bande étroits, filtres dichroïques, séparateurs de faisceau polarisation, revêtements AR et HR pour lasers, et autres revêtements optiques spécialisés.
• Flexibilité des composants clés : Configurable avec surveillance optique in-situ, sources plasma, large choix d'évaporateurs électronique et thermiques, mesure par cristal de quartz (QCM) et divers systèmes de maintien de substrat.

Autres fonctionnalités

• Automatisation : Contrôle de procédé avancé combinant grande flexibilité de programmation et fort niveau d'automatisation pour une production continue efficace.
• Optimisation DUV : Options de traitements de surface de chambre, matériaux sélectionnés et configurations de composants adaptées pour obtenir des revêtements à faibles pertes pour la photolithographie 193 nm.
• Applications IR : Adaptations pour un débit élevé de matériaux IR, garantissant d'excellentes performances et uniformité des couches sur substrats plats et fortement courbés.
• Personnalisable : Bühler Leybold Optics collabore avec les clients pour définir des configurations répondant aux exigences de qualité, d'efficacité et de fiabilité.

Documents disponibles

• Brochure pour optique de précision (PDF)
• Fiche technique : Syruspro series (PDF)

Caractéristiques / spécifications techniques

• Série / Modèle : SYRUSpro
• Application : production en volume de filtres optiques 24/7
• Plages spectrales : DUV, VIS, IR
• Tailles de chambre : 8 options ; diamètres intérieurs 710 mm à 2800 mm
• Types de revêtements pris en charge : filtres de bord, coupe UV/IR, notch, passe-bande étroit, filtres dichroïques, séparateurs de faisceau polarisation, AR/HR pour lasers, etc.
• Composants configurables : surveillance optique in-situ, sources plasma, évaporateurs électronique et thermiques, QCM, systèmes de maintien de substrats
• Automatisation : contrôle de procédé avancé et grande flexibilité de programmation pour production continue
• Optimisation DUV : traitements de surface et matériaux sélectionnés pour revêtements 193 nm à faibles pertes
• Capacité IR : configuré pour un fort débit de matériau IR et uniformité sur substrats plats et courbés