Régulateur de débit à pression différentielle GP200

massiquepour gazanalogique

La série GP200 est le premier régulateur de débit massique basé sur la pression (P-MFC) entièrement insensible à la pression, conçu spécifiquement pour les processus avancés de gravure et de dépôt dans la fabrication des semi-conducteurs. Le P-MFC de la série GP200 est doté d'une architecture brevetée qui surmonte les limites des P-MFC conventionnels afin de fournir une alimentation en gaz de procédé des plus précises, même en cas d'alimentation en gaz de procédé à faible pression de vapeur. Elle comprend plusieurs aspects de conception uniques, notamment un capteur de pression différentielle intégré couplé à une architecture de vanne en aval permettant l'alimentation en gaz de procédé la plus précise sur la plus large gamme de conditions de fonctionnement de l'industrie. Étant donné que la série GP200 prend en charge une telle gamme de conditions de traitement, elle peut être utilisée pour remplacer ou mettre à niveau de nombreux P-MFC et MFC thermiques traditionnels. Elle réduit la complexité et le coût de possession du système d'alimentation en gaz car elle élimine le besoin de composants tels que les régulateurs de pression et les transducteurs. Obtenez plus de détails sur la conception de la série GP200 et voyez comment elle fonctionne. Caractéristiques Véritable mesure de la pression différentielle Fonctionnement à faible pression d'entrée Architecture de vanne en aval Réponse transitoire adaptée Vanne de régulation sans fuite La technologie MultiFloTM offre une flexibilité inégalée : un seul appareil peut être programmé pour des milliers de configurations différentes de gaz et de gammes de débit sans retirer le MFC de la ligne de gaz ni compromettre la précision L'affichage local indique le débit, la température, la pression et l'adresse du réseau Interfaces DeviceNetTM, EtherCAT®, RS-485 protocole L et analogique