Débitmètre massique thermique 9861

massiquepour gazen acier inoxydable

les régulateurs de débit massique (MFC) et les compteurs à haute température sont conçus pour contrôler et mesurer le débit massique de vapeur à partir de sources liquides ou solides afin de répondre à l'utilisation croissante de ces précurseurs dans les processus de fabrication des semi-conducteurs. Le module de débit du GF120xHT peut résister à des environnements de fonctionnement allant jusqu'à 150°C. Pour supporter cette plage de température, l'électronique est connectée à distance au reste de l'appareil et montée dans un endroit où la température est plus basse (max. 50°C). L'électronique déportée peut être montée sur DIN avec un choix de trois longueurs de câble d'interconnexion différentes - 3 pieds, 8 pieds et 16,5 pieds standard. La large gamme de protocoles de communication et d'options de montage fait du GF120xHT un choix idéal pour la prochaine génération d'équipements de traitement et la mise à niveau des anciens MFC chauffés. Caractéristiques Conçu pour les applications à haute température jusqu'à 150°C Le port de service pratique permet d'accéder aux diagnostics via une interface conviviale Capteur Hastelloy résistant à la corrosion Étalonné en fonction des conditions du processus du client Avantages Capacité à prendre en charge des applications jusqu'à 150°C pour la distribution de vapeur de précurseur liquide L'interface de diagnostic conviviale aide l'ingénieur de procédé à s'assurer que le MFC fonctionne dans les limites spécifiées pour un rendement élevé et une durée de fonctionnement maximale Stabilité à long terme inégalée du capteur pour un débit et un rendement maximums Étalonné à la température et à la pression de fonctionnement du client pour des performances optimales