Générateur de plasma radio-fréquence Paramount

Faites progresser le développement de vos processus en mettant l'accent sur la flexibilité de fonctionnement. Les générateurs RF Paramount® HF offrent de larges plages de puissance, prennent en charge de multiples scénarios d'intégration et sont équipés d'interfaces série/analogiques standard et d'autres interfaces de communication en option. Le Paramount HF permet d'obtenir la densité de plasma et l'énergie ionique élevées requises par les dispositifs à rapport d'aspect élevé et accélère le processus pour le prochain nœud d'outils de traitement des semi-conducteurs. L'architecture numérique de la plate-forme Paramount permet une gestion précise de la puissance et rationalise l'intégration de nouvelles fonctions - aucun délai de mise en œuvre ni changement de matériel n'est nécessaire. La détection en temps réel des variations du plasma permet d'obtenir une puissance de sortie élevée et des performances reproductibles. Les limites de protection internes facilitent un fonctionnement fiable. - Contrôle numérique intégral - Réglage de la fréquence, des impulsions et de la synchronisation des impulsions - Mesure de la puissance et de l'impédance en temps réel - Gestion de l'arc électrique - Synchronisation de phase (CEX) - Amélioration de la stabilité du plasma et de la répétabilité du processus - Contrôle précis de la puissance RF - Réponse rapide aux changements de plasma - S'adapter facilement pour répondre aux besoins d'applications spécifiques