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... couches protectrices et des techniques de finition pour les nouveaux matériaux. Hitachi High-Tech a mis au point le système de gravure sur conducteur de la série 9000 pour prendre en charge ces processus ...
... Le système de gravure de conducteurs de la série M-8000 est utilisé pour la gravure de masque dur et de silicium pour 32 nm et au-delà. Hitachi High-Tech a développé de nouveaux flux ...
... multi-spirale brevetée (MSC-ICP) pour une source de plasma uniforme - ICP à faisceau en option (BM-ICP) pour une source de plasma à haute densité - Faible endommagement de la gravure ...
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