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... pour une installation et une maintenance simplifiées.
Spécifications
Gaz ...
... un capteur de gaz SiF4 haute performance conçu pour la détection en temps réel du point de terminaison de nettoyage (EPD) des chambres de dépôt CVD à base de silicium. Basé sur la technologie infrarouge ...
Plage de mesure (%): 0 % - 100 %
... Humidité de fonctionnement : 0 ~ 95%RH, sans condensation
Temps de préchauffage : 1min
Sortie
numérique : niveau TTL
Sortie
analogique : 0.4 ~ 2V
Tension ...
... fonctionnement : 0–95% HR (sans condensation)
... Humidité de fonctionnement : 0 ~ 95% RH, sans condensation
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