Système de mesure optique Therma-Probe® 680XP

Systèmes de métrologie pour implants Le système de métrologie d'implantation et de recuit ionique Therma-Probe® 680XP permet de contrôler la dose en ligne pour les nœuds de conception 2Xnm/1Xnm. La Therma-Probe 680XP produit des informations critiques sur la dose et le profil de l'implant ionique, l'uniformité de l'implantation et du recuit et les dommages en fin de gamme. En outre, les cartes de micro-uniformité à haute résolution du système Therma-Probe 680XP permettent d'obtenir des empreintes digitales pour le développement des processus d'implantation et de recuit. Applications Contrôle du processus, contrôle de l'outil