Système de mesure à laser ATL™

temps réel

Systèmes de métrologie par recouvrement Le système de métrologie de superposition ATL100™ (Accurate Tunable Laser) basé sur la diffusiométrie permet de contrôler les superpositions pour le développement et la fabrication en grande série à des nœuds de conception ≤7nm. La technologie laser accordable avec une résolution de 1 nm associée à un Homing™ en temps réel maintient une grande précision de superposition en présence de variations du processus de production. L'ATL100 prend en charge une gamme variée de cibles de mesure de recouvrement par diffusiométrie, y compris in-die et small pitch, permettant une mesure précise de l'erreur de recouvrement pour différentes couches de processus, types de dispositifs, nœuds de conception et technologies de patterning. Applications Contrôle de l'overlay sur le produit, surveillance en ligne, qualification du scanner, contrôle du patterning, mesures in-die Produits apparentés Archer : Systèmes de métrologie de superposition basés sur l'imagerie qui fournissent des mesures de superposition de haute précision pour le développement et la fabrication en grande série à des nœuds de conception ≤1Xnm.