Interféromètre pour mesure de déplacement ZMI™ Series

optiquelaserpour applications de lithographie

Les configurations standard des interféromètres ZYGO permettent de réaliser de nombreux types de scénarios de mesure. La plupart des interféromètres peuvent supporter une orientation de mesure droite ou à angle droit et peuvent être fabriqués pour fonctionner sous vide. Cette unité mesure des cibles rétroréfléchissantes pour le suivi d'objets se déplaçant principalement dans une dimension linéaire ou tournant autour d'un point fixe. ZYGO propose un interféromètre linéaire de taille standard et compacte pour s'adapter aux différentes contraintes d'espace du système. Exemples : Stades de réticule, systèmes de portique, miroirs de direction Cette unité mesure des cibles à miroir plan pour le suivi d'objets se déplaçant dans plusieurs dimensions linéaires avec des rotations limitées. Les interféromètres à miroir plan de ZYGO sont conçus pour une grande stabilité afin de réduire les erreurs thermiques. Exemples : Platines de wafers, systèmes de platines empilées Cet appareil mesure les variations de l'indice de réfraction pour les utiliser dans la compensation d'autres axes de mesure. Le compensateur de longueur d'onde compact de ZYGO fournit un retour de haute précision du changement d'indice pour une meilleure performance de la mesure du déplacement dans des conditions ambiantes. Compléter le système de mesure en acheminant le faisceau du laser vers les interféromètres et finalement vers l'électronique de mesure. ZYGO offre une variété de miroirs de pliage standard, de séparateurs de faisceaux, de capteurs à fibre optique et de câbles à fibre pour une configuration flexible de votre système de mesure.