Optimisation des processus de modification de surface améliorés par plasma au moyen de mesures en continu de la production d'énergie
Dans les processus améliorés par plasma, l'occurrence et la nature des réactions de surface ainsi que les taux de réaction sont déterminés de façon significative par l'énergie cinétique des particules entrantes. Avec d'autres contributions telles que le rayonnement et l'enthalpie de réaction, elle fait partie de l'apport énergétique total qui est crucial pour les propriétés de surface résultantes du substrat traité au plasma.
ZIROX, NEOPLAS et le Leibniz-Institute for Plasma Science and Technology ont mis au point une nouvelle sonde pour mesurer in situ l'apport d'énergie réel à la surface pendant un traitement de surface. Ainsi, l'amplitude et la direction du flux d'énergie peuvent être caractérisées et corrélées aux propriétés du matériau.
En raison de sa grande sensibilité aux changements de paramètres de processus et de son coût relativement faible, la sonde thermique active est particulièrement adaptée à un contrôle de qualité efficace et à la surveillance en ligne des processus plasma dans l'industrie ou la recherche.
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