L'ORION NanoFab est un microscope ionique multifaisceaux 3 en 1, conçu pour la fabrication de nanostructures inférieures à 10 nm à l'aide du NanoPatterning and Visualization Engine et d'autres applications. Il comporte trois types de faisceaux que les utilisateurs peuvent commuter sans problème entre les faisceaux de gallium, d'hélium et de néon.
Le FIB au gallium convient à l'élimination de la matière en masse dans un échantillon de substance. Le faisceau d'hélium, par contre, est idéal pour la fabrication de structures inférieures à 10 nm. Le faisceau de néons permet aux utilisateurs de former des nanostructures à des vitesses très efficaces et à haut débit.
Le NanoFab a une résolution d'image élevée de 0,5 nm, ce qui permet d'obtenir des images haute résolution d'échantillons utilisant le même instrument.
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