ZEISS Axio Imager Vario
Microscope droit pour grands échantillons
Examiner de grands échantillons - compatible avec salle automatisée et salle blanche
Analysez les plus petits capteurs MEMS jusqu’à la tranche XXL ou même les écrans plats à panneaux plats sans les détruire. Grâce à une hauteur d'échantillon allant jusqu'à 254 mm et à un espace latéral allant jusqu'à 300 mm, vous examinez la gamme d'échantillons la plus large possible avec Axio Imager Vario. La conception de la colonne offre une grande stabilité. Prenez le contrôle de votre plaquette dans la salle blanche. Un lecteur Z motorisé associé à l'autofocus matériel assure le réglage automatique de la position optimale de la mise au point.
Chambre blanche
La production de semi-conducteurs et l'inspection des plaquettes sont faites dans des salles blanches. Les salles blanches sont classées selon DIN EN ISO 14644-1, en différenciant par le nombre et la taille des particules par m³. Axio Imager Vario est certifié conforme à cette norme et répond aux exigences de la classe de salle blanche 5. La classe de salle blanche ISO 5 équivaut à la classe 100 de l'ancienne norme FED STD 209E (1992). Utilisez le kit de salle blanche comprenant une tourelle pour embout nasal 7x, une protection contre les particules et un protège-éternuement.