Platine précision submicronique XLS-1 Ultra Serieslinéairepiézoavec résolution subnanométrique
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Caractéristiques
- Orientation
- linéaire
- Type
- piézo
- Autres caractéristiques
- précision submicronique, avec résolution subnanométrique
- Course
Min: 27 mm
(1,063 in)Max: 102 mm
(4,016 in)- Vitesse
Min: 0 mm/s
Max: 200 mm/s
Description
L'étage linéaire Xeryon (XLS) est un étage linéaire très précis piloté par un moteur piézoélectrique ultrasonique silencieux. Ceci permet un positionnement rapide avec une précision nanométrique. Le moteur piézoélectrique autobloquant maintient la position de la platine lorsqu'elle n'est pas alimentée. De ce fait, la consommation d'énergie et la production de chaleur sont considérablement réduites. Le codeur intégré a une résolution de 78 nm.
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