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Machine de dépôt PVD SPECTOR-HT®assisté par faisceau d'ions
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Caractéristiques
- Méthode
- PVD
- Technologie
- assisté par faisceau d'ions
Description
Le SPECTOR-HT est une machine de dépôt PVD assistée par un faisceau d'ions. Il est capable d'atteindre des niveaux de productivité optimaux en fournissant un débit maximal pour des films minces optiques précis. Cette machine est spécialement conçue pour augmenter les taux de déposition, les tailles de lots et l'utilisation cible ainsi que pour réduire le temps de traitement. Il est équipé d'une géométrie d'outil innovante qui améliore considérablement l'uniformité du matériau. La machine de dépôt PVD SPECTOR-HT permet d'atteindre un taux d'utilisation des matériaux de 30 %, ce qui représente une nette amélioration par rapport à l'objectif fixé.
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