Machine de traitement 3D par laser Ultratech LSA 201

LSA201 Système de recuit à contrôle ambiant par laser pour le recuit de pointe à laser Le système LSA201 de recuit à pointes laser (LSA) de Veeco a la même architecture que le LSA101, mais comprend une microchambre brevetée qui permet un contrôle complet de l'environnement des wafers dans un système laser à balayage. La microchambre est unique en ce qu'elle ne nécessite pas l'utilisation d'un sas à vide. Le système est capable de faire fonctionner des mélanges de tous les gaz inertes, y compris le gaz de formation. Le LSA201 cible des applications telles que l'activation de jonction de porte métallique à k élevé et la formation de siliciure de nickel. Le LSA201 est bien adapté aux processus à moins de 20 nm, tels que l'ingénierie d'interface et la modification des matériaux où le contrôle ambiant est critique Caractéristiques principales Longue longueur d'onde, angle de Brewster, lumière polarisée en p pour une uniformité optimale à l'intérieur de la matrice Régulation en boucle fermée de la température pour maintenir un contrôle serré de la température Conception indépendante de la mise en page, idéale pour le traitement de raboteuses et d'appareils FinFET Champ de contrainte localisé avec temps de séjour flexible permettant un traitement à faible contrainte et une réduction de la casse des plaquettes