Source de pulvérisation d'ions Mark II+

Rendement de l'arbre étiré et amélioration des attributs d'entretien L'extension considérable du courant de l'arbre et la réunion des anodes amovibles permettent d'estimer la source d'ions Mark Ii+ End-Hall, ce qui modifie l'évolution des points chauds des molécules sans grille de la ligne de tête industrielle Veeco pour les couvertures optiques. 70% plus visible pour les stratégies à haut débit et les grandes chambres L'événement social des anodes amovibles accélère les entretiens et réduit le temps d'arrêt Traversées et câblages joints pour la simplicité de la fondation et la stabilité Convient aux gaz réactifs et torrides et aux densités de puissance élevées Structure plus discrète Utilisation variable de la même plaque de montage pour des révisions plus rapides Un compromis adaptable permet un gain de place dans la conception du squelette et une grande portée du bord de l'arbre