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Vanne à opercule 652 seriesélectriqued'isolementde régulation de pression
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Caractéristiques
- Type
- à opercule
- Actionnement
- électrique
- Fonction
- d'isolement, de régulation de pression
- Applications
- pour l'industrie des semi-conducteurs
- Matière
- en aluminium
- Autres caractéristiques
- compacte, haute performance, pour environnement corrosif, avec moteur pas à pas
- DN
200 mm, 250 mm
(7,874 in, 9,843 in)- Température
Max: 120 °C
(248 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Description
Optimisé pour le semi-conducteur corrosif et les processus de FPD (par exemple graver à l'eau-forte) et pour des processus de nettoyage entre les procédés de dépôt. En mode de contrôle, la valve fonctionne pratiquement sans particule. L'entretien peut être facile et rapide faits. Un avantage est la gamme prolongée de contrôle.
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